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標題: 一個具沸石轉輪之VOCs濃縮燃燒系統之最佳化操作
Optimum operating conditions of an incineration system using a rotary zeolite wheel for concentrating VOCs gases
作者: 石崑林
Shih, Kun-Lin
關鍵字: volatile organic compounds
揮發性有機物
zeolite rotor
VOCs removal efficiency
energy saving
沸石轉輪
VOCs去除效率
節能
出版社: 機械工程學系所
引用: 參考文獻 1. 經濟部工業局半導體產業http://proj.moeaidb.gov.tw/sipo/。 2. 彭茂榮,「台灣半導體產業發展現況」,工業技術研究院產業經濟與資訊服務中心,99年10月。 3. 林伸儒,「中部科學園區周邊空氣之揮發性有機物暴露及健康風險評估」,中國醫藥大學環境醫學系碩士論文,94年6月。 4. 蘇浩傑,「TFT-LCD產業揮發性有機物空氣污染之減量與防制之研究」,國立中央大學環境工程研究所碩士論文,97年6月。 5. 賴志泓,「半導體廠VOCs處理設備研究」,國立台北科大大學冷凍空調系碩士論文,91年6月。 6. 劉勁麟,「中部科學園區周邊揮發性有機物之暴露特性及風險評估」中國醫藥大學職業安全衛生學系碩士論文,95年6月。 7. 周忠義,「室外空氣中揮發性有機物之毒性探討」國立成功大學環境工程學系碩士論文,91年6月。 8. 蔡文田、張慶源,“揮發性有機污染物預防技術”,環保資訊,第1期,pp. 34-41,1997。 9. Y.Mitsuma,H.Yamauchi,T.Hirose,”Performance of Thermal Swing Honeycomb VOC Concentrator”,Japan ,1998. 10.F.T.Chang,B.S.Pei,”Adsorption and Desorption Characteristics of SemiconductorVolatile Organic Compounds on the Thermal Swing Honeycomb Zeolite Concentrator”,Air & Waste Manage ISSN 1047-3289,2003. 11.F.T.Chang,Y.C.Lin,H.L Bai,B.S.Pei,”Effect of Operating Para-meters on the Performance of ZSM-5 ZeoliteHoneycomb Rotor for VOCS Treatment”,Air&Waste Management Associa-tion,Paper NO.43023,2002. 12.張豐堂、白曛綾、白寶實、劉邦昱等「溫變式蜂巢狀沸石轉輪吸附揮發性有機排氣的特性研究」環境保護學會學刊,PP. 95-109,94年6月。 13.白曛綾、林育旨、張豐堂、陳建志等「沸石濃縮轉輪焚化系統操作績效自我評估管理制度參考手冊」,國科會研究計劃,89年12月。 14.李嘉平「半導體業產生有害空氣污染物之分流及與處理技術整合的研究」,行政院環保署專案計劃,89年12月。 15.莊達人著 「VLSI製造技術」,高立圖書有限公司,91年1月。 16.Quirk、Serda,「Semiconductor Manufacturing Technolo-gy」,2001。 17.鄭婷方,「中部科學園區周界揮發性有機物污染源貢獻分析」朝陽科技大學環境工程與管理系碩士論文,97年7月。 18.洪珮珮,「半導體製程健康在危害簡介」行政院勞工安全衛生研究所簡訊,第11期,83年。 19.劉興學、鄧志偉、蔡春進、李壽南等人「應用化學濾網去除某晶圓廠黃光區潔淨室的氨氣」工業安全衛生月刊,97年3月 20.康育豪,「潔淨室凝結性有機污染物之晶圓表面吸附沉積行為探討」國立交通大學環境工程所博士論文,94年6月。 21.顏登通著「潔淨室設計與管理」,全華科技圖書股份有限公司第8章,PP.8-1~8-51,94年。 22.林鴻祥,鄭宗岳等著「空氣污染防治理論與設計」淆京開發出版股份有限公司,第10章,PP.263-313,94年。 23.蔣本基,「活性碳物理化學特性對VOCs吸附之影響」,工業污染防治,第58期,PP.144-162,95年。 24.林育旨、白曛綾、張豐堂、王穎哲、何有忠,「半導體及光電產業現行揮發性有機廢氣控制設備之選用評估」,工業污染防治季刊,第89期,93年。 25.白曛綾,「沸石吸附濃縮轉輪去除半導體及光電產業VOCs廢氣之關鍵影響因子探討」,國科會專題研究計畫,93年7月。 26.張豐堂,「VOCs流體化床吸附處理系統」,台灣環保產業雙月刊,93年10月。 27.經濟部工業局,「沸石濃縮轉輪及蓄熱式焚化爐於處理半導體業VOCs的實務應用」,產業環保研討會論文集,95年。 28.張豐堂、粘愷俊、張智能「高科技業VOCs廢氣冷凝回收技術效率提升實務探討」,半導體科技月刊,95年10月。 29.陳茂銓,「以濕式洗滌塔去除酸鹼氣體之理論研究」,國立交通大學環境工程研究所,碩士論文,94年16月。 30.華懋科技股份有限公司「中科廠有機處理設備規劃設計與竣工操作」,95年1月。 31.傑智環境科技公司網站http://www.jgok.net/company1.htm。 32.中華民國行政院環境保護署網 http://www.epa.gov.tw。 33.行政院勞工安全衛生研究所網 http://www.iosh.gov.tw。 34.楊健華,「GC-FID在沸石轉輪處理系統中效率檢測之應用」 ,中冠資訊股份有限公司,93年。 35.李輝煌「田口方法品質設計原理實務」,高立圖書,97年1月。 36.黎正中、陳源樹編著「實驗設計分析」,高立圖書,98年1月。 37.鍾清章,「品質工程」,中華民國品質管制學會,94年1月。 38.熊高生編著,「Minitab資料統計與分析-問題導向操作型學習」,松崗出版社,95年1月。 39.沈君洋,「旋轉式除濕輪之性能量測與電腦模擬」,國立中興大學機械工程學系,98年11月 40.A.M.Barken,”VOC treatment,Akzo nobel safety research de-partment” ,2002. 41. H.Bai,C.C.Lin, “Monitoring Study of VOC Concentrations in Advanced-Technology Industrial Areas Using Combined GC-FID Detectors.” J. of the Chinese Institute of Environmental Engi-neering, Vol. 7, No.2, pp. 87-95. 1997. 42.E.C.Moretti,“VOC control: Reduce VOC and HAP emision,”CEP magazine, 2002.June. 43.J.Brooks,”Help in controlling VOCs in the paint-finishing In-dustry”, Planting and surface Finishing, Vol.12-14,1994. 44.S.W.Blocki,“Hydrophobic zeolite adsorbent:A proven advance-ment in solvent separation technology,”Environmental Process, 1993.
摘要: 本研究之目的在探討VOCs揮發性有機廢氣處理系統減廢節能之最佳化,主要以台中科學園區某半導體DRAM廠為例,針對其具沸石轉輪之VOCs濃縮之直燃式燃燒爐處理系統,進行各項控制因子之運轉量測與分析,以作為本研究之基礎,然後藉由DOE(Design of Experiment)實驗設計手法,從各因子之交互作用中找出其相關性,並分析出影響較顯著之因子,最後利用minitab程式運算,求取最適化運轉之建議參數。 經由實驗設計手法得到的最佳參數,分別為脫附溫度200℃、燃燒溫度為700℃、脫附風量為4000m3/hr(濃縮倍率15倍),在VOCs去除效率95%時,可達成瓦斯減量9m3/hr,改善幅度約28 %;用電量則可減量4.3kW,改善幅度約31%。此外考量系統適化節能有其極限,再依據個案探討設置第三道熱交換器之節能可行性,並收集相關半導體廠中VOCs處理設備之設置與運轉狀況做一分析,以期能對系統之改善有所助益,同時冀望此研究之成果,能提供業界或各先進們參考之用,以達成節能又環保之雙贏目標。
This work optimizes operating parameters of a VOCs treatment system for achieving a minimum energy consumption rate. A combustion system in a DRAM manufacturing factory, locating in the Taichung Science Park, was investigated. In the system, a zeolite rotary wheel is used for increasing the concentration of VOCs gases before combustion. Experimental measurements were performed at various controlled parameters. The result was used in a DOE (Design of Experiment) analysis. From interacting between the parameters, the corresponding correlations were obtained and the prominent parameters were assured. Then the minitab software was used to analyze the optimum parameters. The result shows that, at VOCs removal efficiency of 95 %, the optimum desorption temperature, combustion temperature and desorption air flowrate are 200℃, 700℃ and 4000m3/hr (process-to-desorption air flowrate ratio = 15) respectively. Comparing to the present operation, this optimum contributes a reduction of 9m3/hr in natural gas consumption rate and a reduction of 4.3kW in electricity power. The improvements are 28% and 31% respectively. The feasibility of increasing one more heat exchanger in the system was evaluated. In addition, the operating conditions of VOCs treatment facilities in other semiconductor plants were collected and analyzed. It is expected that the result of this work can be treated as a milestone to relevant industries for achieving both energy saving and environmental protection.
URI: http://hdl.handle.net/11455/1548
其他識別: U0005-1508201122101600
文章連結: http://www.airitilibrary.com/Publication/alDetailedMesh1?DocID=U0005-1508201122101600
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