Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/3522
標題: 高轉化率之水性環氧壓克力系光阻製備與特性研究
作者: 陳冠安
關鍵字: waterborne negtive resist
水性負型光阻
photocuring
photopolymerization
color filter
thiol
epoxy-acrylate
光硬化
光聚合反應
彩色濾光片
硫醇
環氧壓克力
出版社: 化學工程學系
摘要: 面對未來彩色液晶顯示器普及化而須擴大量產,及環保法規的日趨嚴格化,如何降低溶劑的使用以減少對環境的污染,且能兼顧高科技產業的發展是一項重要的研究課題。 本論文旨在製備具有多酸基的環氧-壓克力樹脂,反應性稀釋單體,低黃化之光起始劑,及硫醇系交聯劑之水性負型光阻及其性質鑑定,已完成以下之研究項目:(1) 含硫醇與起始劑之環氧壓克力系負型光阻水性化與微影特性測試;(2) 以DPC及FTIR和UV光分析水性負型光阻之反應特性;及(3)含硫醇之環氧壓克力系水性負型光阻使用製作環保型彩色濾光片之可行性評估。 由以上之成果得知, 本研究之水性光阻與Azo lake 紅色顏料分散液摻合並形成薄膜後,在空氣中以300mJ/cm2進行UV曝光,可使顯影後殘餘率從50%提昇至78%,且其微影有20m之解析度;利用DPC及FTIR與UV光進行光聚合反應特性測試結果,顯示對於單分子型光分段之I1173,I1800,及I184三種起始劑,在無加入thiol的系統中分別為54-65%,而當系統加入10 phr thiol後可達到75-85%,此證明了thiol確實有增加反應速率與提高轉化率的功能;另外,藉由TGA分析結果,發現光阻硬化後在含有不同起始劑與有無thiol的水性光阻的主要生成物之onset溫度都位於440至450℃之間,具有良好的之熱穩定性。 綜合上述,本研究所製備之水性負型光阻具有下列特性:(1)低黃化;(2)高解析度;(3)高反應性;(4)高轉化率;(5)低氧氣抑制;及(6)高熱穩定性,故適合於製作環保型彩色濾光片用高轉化率之負型光阻。
URI: http://hdl.handle.net/11455/3522
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