Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/46754
標題: (2001 年中華民國鍍膜科技研討會,p117-p120)以MIC 及RTA 結合MIC 對ECR-CVD 沉積微晶矽薄膜的結晶化之研究
作者: 江雨龍
陳麗霞
巫文豪
吳佳龍
林光祥
張立勳
廖一遂
關鍵字: MIC
RTA
ECR-CVD
微晶矽薄膜
結晶化
出版社: 彰化縣:台灣鍍膜科技協會
URI: http://hdl.handle.net/11455/46754
Appears in Collections:光電工程研究所

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