Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/46758
標題: (2000中華民國鍍膜科技研討會,p174-p177)脈波調變射頻電漿沉積氟化非晶碳薄膜
作者: 江雨龍
吳貴盛
關鍵字: 脈波調變射頻電漿
沉積
氟化非晶碳薄膜
出版社: 彰化縣:台灣鍍膜科技協會
URI: http://hdl.handle.net/11455/46758
Appears in Collections:光電工程研究所

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