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標題: (Extended Abstracts of 1994 SSDM,p527)Very Low Temperature Deposition ofMicro/Polycrystalline Silicon Films Made by Hydrogen Dilution With PE-CVD and ECR-CVD
作者: K. C. Wang
Y. L. Jiang
T. R. Yew
H. L. Hwang
關鍵字: Very Low Temperature Deposition
Micro Silicon
Polycrystalline Silicon
Hydrogen Dilution
PE-CVD
ECR-CVD
URI: http://hdl.handle.net/11455/46774
顯示於類別:光電工程研究所

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