Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/48613
標題: 前瞻軟性光源製造技術之研發
Developing of a Novel Flexible Light Source Fabrication Techniques
作者: 洪瑞華
關鍵字: 光電工程
應用研究
摘要: Inhomogeneous and Viscoelastic Mechanical Properties of Thin Film,PB9709-0915,基礎研究,NSC97-2221-E005-012,學術補助,行政院國家科學委員會,9708 ~ 9807,國立中興大學精密工程學研究所,97 年,880 千元,機械工程類,林明澤,--,--,目前包括半導體積體電路、光電元件、顯示器與微機電系統等的高科技產業,已在國內外迅速的成長;為研究及發展更新更快之元件,學者專家們不斷的增加其結構之複雜性及高密度性,以使更多的功能可被安置在一個微處理器中;在持續增加其計算能力的研究上,仍需要更進一步的微型化,然而因為微小化的過程中衍生各種新興材料微結構與機械性質的研究就顯得非常重要;同時隨著各種先進設備與製程技術的提升,很多新穎之薄膜材料被設計與研發,但由於材料結構在微奈米尺度之各項性質和其巨觀塊狀結構有著極大的不同,在控制化學製程及晶粒大小的過程中產生了許多新穎材料特性改變,此現象對製造生產某些特性需求而調配的機能材料(functional materials)提供一個極大的可行性,對高科技產業的發展與提昇是相當重要的一環。最近在2007年科學"Science"期刊中,刊出了一篇發現對於nanocrystalline 奈米結晶晶粒組成之金屬薄膜會有一新穎塑性變形回復的機械行為;文中建議此新穎塑性變形回復是來自在微結構裡小而平均的奈米晶粒和薄膜非均質現象inhomogeneities所影響的結果。然而有關此金屬薄膜材料與非均質影響其機械行為的現象與理論,目前仍存在許多未知,尤其此發現之行為推翻了基礎材料科學與應用力學上對於材料的認知:材料產生之塑性變形為永久變形並不可回復;因此在更深入的對於奈微米材料結構及其機械性質之量測及瞭解在基礎科學的研究上有著迫切的需要。此外由於科技產業之應用,研發其他薄膜材料,例如奈米複合材料nanocomposite薄膜,壓電薄膜材料和其他聚合物薄膜,並運用其於微奈米尺度展現新性質之潛在研究技術正蓬勃發展;然而在有關其薄膜材料與其機械行為的現象與理論目前仍存在許多未知。目前為止,有許多相關的實驗和理論都是依據材料在大尺度規模時巨觀的性質來推演;相較之下,以材料在微奈米尺度的機械行為依據的實驗與研究探討卻往往因其試件製程與量測機制的種種限制而無法有完整而合理的結果。因此設計研究新而適合量測材料在微小尺度的高準度實驗,進而衍生一完整而有價值的次微米到奈米薄膜材料之新穎機械行為的分析有著重要且亟為迫切的需求。本研究計畫提出發展三組實驗方法設計以靜電力驅動試件並同步以(1)電容量測(2)麥克森光學干涉量測(3)自然共振微拉伸方法量測 次微米、奈米薄膜在均質平面應力懸臂樑結構之彎曲曲率改變量與拉伸試件自然共振反應來探討其所呈現出的機械性質,此研究是計畫主持人依據近幾年來設計執行之研究計畫,並參考國內外各種先進之量測技術而提出之一套最新且直接的實驗,用以量測運用無塵室標準製程產生之薄膜試件奈米級材料機械性質之量測試驗技術,受量測之試件薄膜厚度可由數百奈米厚到十奈米薄之等級。此計畫可準確的量測試件之塑性回復、薄膜非均質行為、彈塑性及黏彈性行為、溫度對應力與應力釋放之影響、薄膜厚度對薄膜機械性質的影響等。其中試件製程完全依照實際製程上的反應與環境的狀況,使得研究測試之數據,更能清楚對照微製程使用的材料於應用過程中產生之材料機械行為與製程條件之相關性,同時以此簡單的試件製程步驟更可提升其良率與實驗效率;更由於因其以簡單的感測方法推算出應力應變的關係,實驗設計的準確性可大大的提升。成功的完成這項研究計畫,不僅可以建構出國內第一結合以靜電力驅動懸臂樑結構曲率與自然共振分析次微米-奈米尺度金屬薄膜試件之量測設備,產生完整的數據,可用以分析其材料機械性質,提供微系統設計製造時選用材料之參考,也對產品元件之製程設計與可靠度分析提供一極有價值之研究,更可為研發下一代奈米等級元件設計提供一最新式、嚴謹而可靠之機械性質研究方法。,The microsystems technology has grown rapidly in recent years. Continued growthof computing power requires still further miniaturization
本計劃主要進行」前瞻軟性光源製造技術之研發」,係結合高反射率金屬電極將LEDs 陣列黏貼在以玻璃為承載基板的可撓性銦錫氧化物透明導電塑膠基板上,開發穩定且高壽命的固態光源,初期實驗已驗證製程之可行性。本計畫同時開發一無光罩製程,以降低微影成本。本計畫同時利用不同的材料製程技術來克服因塑膠不易直接製程的缺點,藉由找出聚對二甲苯(parylene)做為薄膜承載層材料,聚對二甲苯有許多優點,如:室溫下真空腔體內成膜、大面積成膜容易、鍍膜後無殘留應力、抗酸鹼的腐蝕、介電特性良好、無色高透明度以及吸水性 http://grbsearch.stpi.narl.org.tw/GRB/result.jsp?id=1665496&plan_no=NSC97-2221-E005-012&plan_year=97&projkey=PB9709-0915&target=plan&highStr=*&check=0&pnchDesc=%E8%A8%AD%E8%A8%88%E6%96%B0%E5%BC%8F%E5%AF%A6%E9%A9%97%E9%87%8F%E6%B8%AC%E6%96%B9%E6%B3%95%E6%8E%A2%E8%A8%8E%E6%96%B0%E8%88%88%E5%BE%AE%E5%A5%88%E7%B1%B3%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A1%91%E6%80%A7%E5%9B%9E%E5%BE%A9%E9%9D%9E%E5%9D%87%E8%B3%AA%E8%88%87%E9%BB%8F%E5%BD%88%E6%80%A7%E7%AD%89%E6%96%B0%E7%A9%8E%E6%A9%9F%E6%A2%B0%E8%A1%8C%E7%82%BA,",設計新式實驗量測方法探討新興微奈米薄膜塑性回復非均質與黏彈性等新穎機械行為,Using New Measurement Methods for the Study of Novel Plastic Deformation Recovery
URI: http://hdl.handle.net/11455/48613
其他識別: NSC96-2628-E006-261-MY3
文章連結: http://grbsearch.stpi.narl.org.tw/GRB/result.jsp?id=1617615&plan_no=NSC96-2628-E006-261-MY3&plan_year=97&projkey=PB9706-1472&target=plan&highStr=*&check=0&pnchDesc=%E5%89%8D%E7%9E%BB%E8%BB%9F%E6%80%A7%E5%85%89%E6%BA%90%E8%A3%BD%E9%80%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E4%B9%8B%E7%A0%94%E7%99%BC
Appears in Collections:精密工程研究所

文件中的檔案:

取得全文請前往華藝線上圖書館



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.