Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56092
標題: 於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法
作者: 呂福興
LU, FU HSING
許淑君
揭由志
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 一種於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法,係先將一陽極與一陰極置入一含鋇離子之鹼性溶液中,其中該陽極為具有氮化鈦膜之基材,該陰極則由導電材料如鉑所製成,並將溶液溫度保持在約60℃以上,接著,於該陽極與該陰極通電,即可於該氮化鈦膜表面快速形成一質地緻密之鈦酸鋇膜,其製程簡易快速、所需設備簡單且產品之應用廣泛。 【創作特點】 本發明之一目的在於提供一種於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法,可於溫度100℃以下及常壓之開放系統進行,製程及所需設備簡易。 本發明之另一目的在於提供一種於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法,可提升鈦酸鋇膜之生成速率。 本發明之又一目的在於提供一種於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法,其產品之應用更為廣泛。 為達成前揭目的,本發明所提供於氮化鈦上製備鈦酸鋇膜之方法,係先將一陽極與一陰極置入一含鋇離子(Ba 2 + )之鹼性溶液中,如0.1M~2M之醋酸鋇(Ba(CH3COO)2)與1M~5M之氫氧化鈉(NaOH)之混合液,其中該陽極為具有氮化鈦(TiN)膜之基材如矽片,該陰極則由導電材料如鉑或石墨所製成,並將溶液溫度保持在約60℃以上;接著,於該陽極與該陰極以定電壓、掃瞄電壓、定電流或掃瞄電流方式通電,即可於該氮化鈦膜表面快速形成一質地緻密之鈦酸鋇(BaTiO3)膜。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56092
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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