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標題: A METHOD OF MAKING HIGH POWER LIGHT EMITTING DIODE AND THE PRODUCT MADE THEREFROM
製作高功率發光二極體的方法及其製品
作者: 武東星
WUU, DONG SING
洪瑞華
HORNG, RAY HUA
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 一種製作高功率發光二極體的方法,包含下列步驟:(A)提供一具有一磊晶體的藍寶石基板,及一具有一由可被一雷射光分解的材料所製成的中間膜的第一基板,第一基板是由可被該雷射光穿透的材料所製成;(B)利用一貼合膜黏合磊晶體及中間膜;(C)將藍寶石基板研磨達一小於50μm的預定厚度;(D)利用雷射光照射第一基板裂解中間膜的材料,以分離第一基板及藍寶石基板;及(E)以一蝕刻移除貼合膜。該方法可製作出一高功率發光二極體,包含:一具有一磊晶面及一相反磊晶面的背光面且一預定厚度小於50μm的藍寶石基板及一形成在藍寶石基板之磊晶面的磊晶體。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56209
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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