Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56279
標題: 製備氮摻雜二氧化鈦之方法
作者: 呂福興
詹慕萱
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 一種製備氮摻雜二氧化鈦(TiO2-xNx)之方法,係於一密閉腔體內置入一鈦靶材與一基材,將空氣與氬氣(Ar)依流量比1.1~3通入密閉腔體中,並控制密閉腔體之工作壓力於1.33×10 -2 Pa~0.13Pa,以物理氣相沈積方法在該基材表面形成氮摻雜二氧化鈦。由於本發明以空氣作為反應氣體,且背景真空度之要求較習知方法為低,故具有製程時間短與成本低之優點。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56279
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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