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標題: 光電元件的製造方法
作者: 武東星
洪瑞華
吳嘉城
林伯融
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 一種光電元件的製造方法,是先自一基材形成一犧牲膜,且犧牲膜包括複數與周緣連通的通道,接著自圖樣化的犧牲膜磊晶成長一光電半導體磊晶膜,並在光電半導體磊晶膜上貼覆一第一基板後,將蝕刻劑由周緣通入通道以蝕刻犧牲膜,使基材與光電半導體磊晶膜分離,由於在成長光電半導體磊晶膜前即完成通道的製作,以保持基板完整使其能重複使用,且省去多餘的貼合工時,並維持快速蝕刻移除犧牲膜的功效。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56291
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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