Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56304
標題: 製備金屬氮化物膜之方法
作者: 呂福興
楊浚揮
吳柏倫
詹慕萱
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 一種製備金屬氮化物膜之方法,係先將一靶材與一基材置入一真空腔體中,該靶材係由鈦或鋯所製成;接著,再利用濺鍍法於該基材表面形成一金屬氮化物膜,該金屬氮化物膜係氮化鈦膜或氮化鋯膜,其中,真空腔體之工作壓力固定於5�10^-4~5�10^-2 torr,通入空氣與氬氣於該真空腔體中,空氣/氬氣之流量比為(5~15)/100,以一電源供應器提供輸出功率為100~5000 W之直流電,由於空氣之取得極為方便,且背景真空度之要求較習知方法為低,使本發明所提供之方法具有設備簡易、製程快速、成本低廉等優點。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56304
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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