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標題: 可攜無閥蠕動式微泵浦及其製法
PORTABLE VALVE-LESS PERISTALTIC MICROPUMPS AND FABRICATING METHOD FOR THE SAME
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
胡竣傑
HU, CHUNG-CHIEH
出版社: 精密工程研究所
摘要: 本發明係有關一種可攜無閥蠕動式微泵浦及其製法,其至少包括:一.預備步驟、二.微影成型步驟、三.翻模步驟、四.微泵浦接合步驟以及五.完成步驟;藉此,以微機電技術之黃光微影製程,配合聚二甲基矽氧烷翻模技術與聚二甲基矽氧烷結合技術,快速製作具有微流道與致動腔體的微泵浦成品,搭配一可攜式驅動控制器,即可以循序控制的方式控制複數組壓電致動片驅動致動腔體產生蠕動壓力,最後整合為可攜無閥蠕動式微泵浦,如此兼具光阻厚度可精確控制、翻模技術減少製作時間及成本、具彈性之微泵浦結構應用範圍廣,以及控制部為簡單的可攜式結構等優點。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56864
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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