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標題: 角錐微結構陣列製法
TRUNCATED PYRAMID ARRAY FABRICATION METHOD
作者: YANG, HSIHARNG
楊錫杭
CHENG, WEI HSUAN
程偉烜
出版社: 精密工程研究所
摘要: 本發明係有關一種角錐微結構陣列製法,其包括一.預備步驟及二.微影成型步驟;本發明藉由微影曝光中,配合近接式曝光法以凹透鏡改變黃光入射光罩之透光孔的方向,使光阻層得以曝光呈現角錐型陣列結構之光阻;並透過製程參數之設定以及該光罩之透光孔的形狀,可穩定控制該角錐微結構之尺寸大小,進一步加以電鑄成形為微模仁,可進行量產射出製造;如此兼具可製造不同尺寸之角錐微結構陣列、製程穩定、生產設備成本低,以及導光性特佳等功效。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56867
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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