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標題: 橫躺半圓錐形光波導之製法
MANUFACTURING METHOD OF A HORIZONTAL HEMI-FRUSTUM OPTICAL WAVEGUIDE
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
林宗鴻
趙振綱
林哲平
LIN, TSUNG HUNG
CHAO, CHING KONG
LIN, CHE PING
出版社: 精密工程研究所
摘要: 本發明係有關一種橫躺半圓錐形光波導之製法,其包括:一.預備步驟、二.光罩放置步驟,以及三.微影成型步驟;本發明利用紫外光以不同間距穿過兩個不同高度之第一、第二梯形曝光孔後,照射一光阻層,配合繞射現象使此光阻層曝光產生出至少一個橫躺半圓錐形光波導;如此兼具製程穩定、控制尺寸相當準確、生產設備低成本,以及可射出製造等優點。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56875
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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