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標題: 圓錐柱微結構陣列之製造方法及其成品
MANUFACTURING METHOD AND PRODUCT OF MICRO-CONES ARRAY
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
吳孟諭
易威廷
WU, MENG YU
YI, WEI TING
出版社: 精密工程研究所
摘要: 本發明係有關一種圓錐柱微結構陣列之製造方法及其成品,其包括一.預備步驟、二.微影成型步驟、三.導電層成型步驟、四.微模仁製作步驟、五.翻製成品步驟。本發明應用近接式曝光法,控制光阻與光罩之間隙改變光的發散作用,並搭配曝光劑量之改變,自動產生圓錐柱微結構陣列;由調整光阻與光罩之間隙及曝光劑量的控制,來改變圓錐柱微結構之錐度,大約從30度至85度的半圓錐角皆可製作;更可以變換不同光罩尺寸與光阻旋塗之厚度,改變圓錐柱微結構的大小與高度;如此達到兼具可製作不同樣式的微透鏡陣列、製程穩定、生產設備成本低、生產出之導光板特性佳與圓錐柱微結構陣列與精密配合元件之定位卡合容易之多重功效。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56882
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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