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標題: 浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法
作者: 林泓均
LIN, HONG CHIN
洪瑞華
張昭智
出版社: 精密工程研究所
摘要: 本發明提供一種浮動閘極式駐極體電容麥克風及其製造方法。該浮動閘極式駐極體電容麥克風包含一可電性連結於一電路板上的基座,及一封裝於該基座中的電容式麥克風晶片,該電容式麥克風晶片是利用二相間隔的導體層及一形成在此二導體層間的浮動閘極式駐極體形成電容,使當聲能作用時電容對應變化,而可轉換成電子訊號傳輸。該製造方法是利用半導體製程與微機電製程在矽基材上形成浮動閘極式駐極體電容的電容式麥克風晶片,再將此電容式麥克風晶片封裝入一可電性連結於電子產品之電路板的基座中,完成浮動閘極式駐極體電容麥克風的製備。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56884
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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