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標題: 微晶片之製造方法及其產品
作者: HORNG, RAY HUA
洪瑞華
陳弘育
曾志明
蔡東孟
林冠文
出版社: 精密工程研究所
摘要: 一種微晶片之製造方法、以此製造方法所製成之微晶片,及應用此微晶片之檢測方法。該製造方法是利用網版印刷將導電膠形成在基板上作為電極,再在基板、電極上利用微影製程形成一具有多數微流道的光阻層,最後將另一面板壓貼在光阻層上,完成微晶片的製備。本發明以微影製程可精確形成任意形狀分佈之微流道,並以熱壓貼合將面板與基板藉光阻層連結,而可以快速、便宜、精確地製作出具有高靈敏度和選擇比、微小化、低成本、低功率、高協調性之檢測特性的微晶片,而適用於光學檢測、電學檢測與光電檢測等領域。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56885
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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