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標題: 真空吸取微透鏡陣列之製造方法
FABRICATION METHOD OF MICROLENS ARRAY WITH VACUUM SUCTION
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
鄭慧成
JHENG, HUEI-CHENG
出版社: 精密工程研究所
摘要: 本發明係有關一種真空吸取微透鏡陣列之製造方法,其包括一.準備步驟、二.曝光步驟、三.翻製步驟及四.真空吸取步驟,本發明以光學微影的曝光方式,在光阻層上形成微模柱陣列,並於光阻層上電鑄形成具有微模穴的微模具,將此微模具貼附於透鏡基材上,並置於一真空部內,由微模具的方向對透鏡基材進行抽真空動作,則透鏡基材上面的透鏡光阻層進入微模穴中,形成微透鏡陣列,本發明之製造方法達到兼具微透鏡表面之粗糙度佳、製程穩定、生產設備成本低及微透鏡之造型變化容易等等之優點及功效。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56922
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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