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標題: TFT-LCD 產業剝離液回收系統中結垢物去除方式探討
The removal of reactant in the stripper recycle system in TFT-LCD industry
作者: 陳諭慶
Ching, Chen-Yu
關鍵字: SRS (Stripper recycle system)
SRS (Stripper recycle system)
剝離液回收系統
Stripper
Stripper
出版社: 環境工程學系所
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摘要: 隨著面板尺寸不斷地放大,使化學品總用量隨之增加。針對本研究案為例,六代廠剝離液最大用量已達到每月約549~307 m3,每月剝離液(60元/L)支出費用約為1,800~3,000萬元,因此各製造廠商紛紛設立剝離液回收系統(SRS),以達到降低剝離液用量之目的。 剝離液回收系統設立後,因去光阻回收廢液中含有製程所排放之光阻物質,容易在回收系統中造成蒸發器及加熱器之阻塞與故障,影響系統回收率與廢液處理量。本研究主要探討去除回收系統內蒸發罐、蒸餾塔結垢物之最佳溶劑與操作參數,並選出易採用之方式與最符合經濟效益之方法。 研究結果顯現,不同溫度情形下,以水當作溶劑之平均溶解率(在30℃~60℃時均為27%),MEA (ETHANOLAMINE,乙醇胺)當作溶劑之平均溶解率(在30℃, 40℃, 60℃時分別為42%,43%及48%);不同溶劑狀態下,MEA與水為溶劑平均溶解度分別為44 %與27 %;兩溶劑於相同攪拌時間、相同轉速下,其對於溶解度之影響較不顯著。雖MEA具有顯著之溶解率,但因其年度費用(溶劑成本、廢水處理成本、人事成本等)為1,030萬元遠高於水為溶劑0.8萬元,單次費用23.8萬元高於委外處理費用9.8萬元。故以水當做溶劑去除結垢物,其成果明顯優於MEA當作溶劑。針對成本考量、廢水衍生問題,若要去除回收系統之結垢物,本研究認為水為最具經濟效益與衍生問題少之最適當去除溶劑。
The Stripper Reccyle System(SRS) was set up in the TFT-LCD industry to recycle the valuable stripper.The waste liquid(Stripper) contained photoresist that easily resulted in the scale information in the evaporator and heater in SRS.This study focused on the control of the scale formation to reduce the operating cost. The results indicated that the average scale dissolution rate was about 27% at temperatures of 30~60℃ with water as the solvent.However,the dissolution rate were 42%,43 and 48% when temperatures were contolled at 30℃,40℃ and 60℃, respectively,using MEA as the solvent. Although,using MEA as the solvent might result in a better dissolution rate to remove scale,the annual cost for this system (solvent cost,waste disposal cost,manpower cost,etc.)was much higher than that with water as the solvent.The difference was about 10,301,554 NTD/yr.Therefore,water was preferentially used as the solvent in this recycle system(SRS).
URI: http://hdl.handle.net/11455/5793
其他識別: U0005-2008201317414900
文章連結: http://www.airitilibrary.com/Publication/alDetailedMesh1?DocID=U0005-2008201317414900
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