Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/66816
標題: 以凝膠溶膠法製造氣體感測器之方法
作者: 戴慶良
DAI, CHING LIANG
劉茂誠
LIU, MAO CHEN
摘要: 本發明提供一種製造氣體感測薄膜的方法,首先使氫氧化銨與四氯化錫於水中進行水解反應,生成氫氧化錫沉澱;再使氫氧化錫靜置進行縮合反應,生成二氧化錫;將二氧化錫溶於溶劑後,即可塗佈於p型多晶矽,形成二氧化錫塗佈層;最後,將二氧化錫塗佈層於90~160℃下熱烤1~4小時,即製成本發明之氣體感測薄膜。
URI: http://hdl.handle.net/11455/66816
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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