Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/66820
標題: 氣體感測器及其製作方法
GAS SENSOR AND THE METHOD OF PRODUCING THEREOF
作者: 戴慶良
DAI, CHING LIANG
劉茂誠
LIU, MAO CHEN
摘要: 本發明提供一種氣體感測器,包含:一具有一第一表面及一相反於該第一表面的第二表面的基材、一形成於該基材之第二表面且由一具有複數載子的半導體材料所製成的電阻結構、至少二連接該電阻結構的接觸電極,及一覆蓋該電阻結構且由溶膠凝膠法所製得的氣體感測層。本發明亦提供一氣體感測器的製作方法,包含下列步驟:(a)提供一基材、(b)於該基材提供一種由一具有複數載子的半導體材料所製成的電阻結構、(c)形成至少二連接該電阻結構的接觸電極,及(d)以溶膠凝膠法提供一氣體感測層以覆蓋該電阻結構。
URI: http://hdl.handle.net/11455/66820
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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