Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/67003
標題: 一種懸浮結構之微型可變電容及其製程方法
A POST-PRODUCTION METHOD FOR MAKING THE SUSPENDED STRUCTURE OF A MICRO VARIABLE CAPACITANCE
作者: 戴慶良
DAI, CHING LIANG
林仕傑
劉茂誠
LIN, SHIH CHIEH
LIU, MAO CHENG
摘要: 一種懸浮結構之微型可變電容及其後製程方法,其結構係為一晶片基板,該晶片基板上有一上電極板、複數個固定板、複數條懸臂樑彈簧、一感測電極板以及一驅動電極板。使用本發明之結構及後製程,可以讓可變電容的微結構和電路整合在同一塊晶片上,並且具有懸浮結構。
URI: http://hdl.handle.net/11455/67003
文章連結: http://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkm
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