Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/72196
標題: 應用氫釋法及氫原子處理法促成氫化矽膜微細結構演化之研究
Evolution+of+Microstructures+in+Hydrigenated+Silicon+Films+Prepared+by+Diluted-Hydrogen+and+Hydrogen-Atom-Treat-ment+Method
作者: 許國強
張華
黃惠良
關鍵字: 氫化矽膜
氫原子處理法
氫釋法
微細結構
演化
出版社: 國立中興大學工學院;Airiti Press Inc.
URI: http://hdl.handle.net/11455/72196
ISSN: 1017-4397
Appears in Collections:第04卷
工學院

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