Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/91308
標題: The influence on fluid flow in a cleanroom with high raised floor ventilation
無塵室高架式地板通風對室內流場的影響
作者: 劉永斌
Yung-Pin Liu
關鍵字: Clean room
CFD
Fluent
無塵室
計算流體力學
Fluent
引用: 【1】 董雲春、胡石政, '以統計分析粒子的移動軌跡來評估亂流型無塵室之通風性能研究',台灣冷凍空調學會期刊,P.108 ~P.119,民國 91 年 9 月(2002) 【2】 黃富加,' FFU 式單向流潔淨室流場監測與流場影響因子之分析'國立交通大學機械工程研究所碩士論文 民國 92 年(2005)。 【3】 黎瑞海,' TFT-LCD 前段 Array 廠及中段 Cell 廠 AMHS 流場改善研究' 國立交通大學工學院精密與自動化工程學程研究所碩士論文,民國 99 年(2010)。 【4】 吳伯彥,'利用數值分析方法進行潔淨室設計適正性研究' 國立台北科技大能源與冷凍空調工程學系碩士班碩士論文,民國97 年(2008)。 【5】 廖本衛,'利用數值方法解析產業無塵室空氣流場之研究' 國立台灣海洋大學機械與輪機工程學系碩士學位論文,民國 93 年(2004)。 【6】 簡志明,'廠房氣流模擬分析' 勢流科技股份有限公司,民國94 年(2005)。 【7】 魏嘉言,'計算流力程式在無塵室空氣流場分析之研究' 國立清116華大學工程與系統科學研究所熱流組碩士論文,民國 95 年(2006)。 【8】 簡良翰,'半導體廠潔淨室氣流模擬分析與省能運轉策略' 國立台北科技大能源與冷凍空調工程學系碩士班碩士論文,民國 95年(2006)。 【9】 顏登通,2011 年,高科技廠務(第三版),全華科技圖書股份有限公司。 【10】 顏登通,1995 年,潔淨室設計與管理,全華科技圖書股份有限公司。 【11】 李建興,'電器控制箱內熱流場模擬以改善過熱現象之探討'國立中興大學機械工程研究所碩士論文,民國 103 年(2014)。 【12】 沈君洋教授,'熱對流學教學講義?,國立中興大學機械系,2010。 【13】 盧昭暉副教授,'熱傳學教學講義?,國立中興大學機械系,2010。 【14】 Ansys Fluent教育訓練手冊 V14.5,虎門科技,2013。 【15】 MET ONE 3400 USER MANUAL, Hach Company, 2011. 【16】 Heat transfer with applications, Kirk D. Hagen, Weber State University. Prentice Hall PTR, 1999.117 【17】 Launder, B. E. and Spalding, D. B., 'Lectures in Mathematical Models of Turbulence ', Academic Press, London, England, 1972. 【18】 Grande, W. C. 'Upgrading a Class 100 Fab Through Use of Manual Access Microenvironments,' Microcontamination, Jan. 1993, pp. 25-28. 【19】 M. Kaiser, 'Achieving Chemical and Particulate Isolation Through the Use of Minienvironments,' Microcontamination, April. 1994. pp. 35-39. 【20】 Baechle, T. and Mitchel, P., 'Certification and Acceptance of Mini Environment Air System,' Proceedings of the Symposium on Minienvironment, 1993, pp. 544. 【21】 Eissler, W. and Schneider, H., 'Experimental Studies of Minienvironment Types,' Proceedings of the Symposium on Minienvironment, 1994, pp. 396-401. 【22】 Schliesser, J., 'Designing Methods to Obtain a Less Contaminated Air-Flow at the Product Level, Proceedings of the Symposium on Minienvironment, 1994, pp. 406-412. 【23】 Carpenter , S.E., Cynkar, T., and Dunfield, S., Minienvironment Effects on the Process Performance of A Resist Spin Coater, 118 Proceedings of the Symposium on Minienvironment, 1994, pp. 430-442. 【24】 Paul Ballentine and Gary Gallagher, 'A New Mini-Environment Concept for 300 mm Fabs,' SEMI Technology Symposium, SEMICON Tokyo, Japan 1995. 【25】 Susanne Hollemann, Heinz Schneider, Peter Fabian, and Honold, 'Advanced Contamination Control with Minienvironment,' JENOPTIK IN FAB, Jena, Germany. 【26】 Nield,D.A., Bejan, A., 1992, Convection in Porous Media, Springer-Verlag Inc., New York.
摘要: This research is studying and comparing the influence of air vent in different conditions to the flow-field around main machine to be the reference of adjusting flow-field after the machine is installed. Fluid Dynamics is used as method for Simulation Analysis. According to the result, proposal 1 and proposal 2 both cover one side of machine's air vent and also cause more series of flow return. Proposal 3 covers a wide area and not around the machine, and subsequently increases flow rate around the machine and flow-field around the machine also becomes more stable. Flow-field around the machine is influenced by the area of air vent – with large area of air vent the overall speed of exhausting is reduced; with small area of air vent the overall speed of exhausting is increased. Therefore air vent should be set around machine to ensure the stability of flow-field. While the machine top is covered with fan filter Unit and the underneath is covered with raised floor with hole the flow-field is comparatively stable, and can keep flow speed rate at 0.7~0.8 m/s. On the contrary, while the top is covered with blind plate and the underneath is covered with plate with hole can adjust the flow direction.
本文利用流體力學套裝軟體進行模擬分析,研究不同的出風口條件對於主要機台周圍流場變化進行比較,作為機台安裝後流場調整時的參考依據。結果則顯示,在方案一與方案二都遮蓋了機台單一側的排風口,也造成機台回流更加嚴重。方案三遮蓋範圍大,也不在機台的四周,因此提昇機台四周的流速,讓機台四周的流場更穩定。在機台周圍的流場會因為排風口的面積大則整體排風口的速度減小,排風口面積縮小則整體排風口的速度則加快,因此排風口的位置上應選擇在機台四周以確保流場的穩定。在機台上方佈滿風機濾網機組與下方佈滿孔洞高架地板時其流場與流速較穩定,其流速可以維持在 0.7~0.8 m/s。相反的,上方為盲板下方為孔洞板則會有調整流向的效果。
URI: http://hdl.handle.net/11455/91308
文章公開時間: 2018-07-15
Appears in Collections:機械工程學系所

文件中的檔案:

取得全文請前往華藝線上圖書館



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.