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標題: 應用真空產生器於真空幫浦節電之研究
作者: 王彥翔
關鍵字: Vacuum Pump
Vacuum Generator
摘要: 面板業在競爭激烈的環境裡要求生存,各家公司皆努力的靠著降低成本以及提高附加價值以求永續發展,能源是經濟的動力,而能源的耗費也佔了生產成本中很大的比例,故如何減少能源的耗用,將是產業內不可忽視的課題之一。 本論文將利用真空產生器製造真空的能力,與化學氣相沉積機台的真空幫浦做結合,讓真空幫浦出口尾管變成真空環境,使真空幫浦的運轉負載減輕,進而達到節省電力的目的;文中介紹真空產生器利用拉瓦爾噴嘴製造真空的理論,以及真空幫浦與真空產生器搭配選擇的方式;其中真空產生器運作主要是由壓縮空氣經過拉瓦爾噴嘴的加速,產生超音速流,並在噴嘴出口製造低壓的環境,利用噴射夾帶周圍的氣體加速,使所連結的腔體內部空氣被吸走,達成負壓的環境。 在效能測試上,選擇不同型號效能的真空產生器做實驗,搭配真空幫浦的稀釋用氮氣做為參數影響,分析真空產生器製造的真空度與真空幫浦耗電量的關係變化,以及經由真空幫浦稀釋用氮氣的影響,對真空度的破壞程度探討,得出各實驗條件最佳的省電搭配,再扣除用來驅動真空產生器所使用的壓縮空氣費用,進而計算實際節省的電費,最後得出節省電費的最佳搭配組合。
URI: http://hdl.handle.net/11455/94791
顯示於類別:機械工程學系所

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