Browsing by Author 陳麗霞

Showing results 1 to 2 of 2
Issue DateTitleAuthor(s)Text
-(2001 年中華民國鍍膜科技研討會,p117-p120)以MIC 及RTA 結合MIC 對ECR-CVD 沉積微晶矽薄膜的結晶化之研究江雨龍; 陳麗霞; 巫文豪; 吳佳龍; 林光祥; 張立勳; 廖一遂-
-以RTA,PRTA,MIC及PRTA結合MIC對ECR-CVD沉積微晶矽薄膜的後結晶化之研究陳麗霞-