Browsing by Author Y. S. Liao

Showing results 1 to 2 of 2
Issue DateTitleAuthor(s)Text
-(2000 IEDMS Symposium A,p218-p221)Low dielectric constant and high thermal stability fluorinated amorphous carbon filmsY. L. Jiang; K. S. Wu; K. S. Lin; L. H. Chen; W. H. Wu; C. H. Wu; Y. S. Liao; L. H.Chang-
-(2000 IEDMS Symposium A,p285-p288)High crystallinity and large grain size c-Si:H films deposition by ECR-CVDY. L. Jiang; S. H. Chen; L. H. Chen; K. S. Lin; W. H. Wu; C. H. Wu; Y. S. Liao; L. H. Chang-