Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/1622
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisor林麗章zh_TW
dc.contributor.author許家維zh_TW
dc.date2000zh_TW
dc.date.accessioned2014-06-05T11:41:15Z-
dc.date.available2014-06-05T11:41:15Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11455/1622-
dc.description.abstract中文摘要 使用撓性軸承之微定位系統為無窮維度的分佈式撓性系統,若直接針對其偏微分方程式,設計控制器較為因難。本文採用[1]所推導之微定位系統完整動力學模式,提出一階層式模糊控制器,使用類神經網路之反向傳遞學習法則訓練模糊控制器參數,以達成模糊控制系統之最佳化設計。經由電腦模擬驗證,所提之控制策略可達成精密定位及主動式抑制振動能力,並與LQR控制策略進行比較。zh_TW
dc.description.abstractAbstract The micropositioning system using flexural bearings (e. g., for wafer steppers and coarse-fine positioning systems) is a system of infinite degrees of freedom. It is difficult to design the controller for the partial differential equation of the system directly. In this thesis, we use the closed-form dynamics model proposed in [1] for the design of micropositioning controller. We propose a hierarchical fuzzy control using neural network backpropagation training algorithm for the micropositioning system. Simulation results show that the suggested control strategy can actively suppress the flexible vibration and have good performance in micropositioning. Comparison with the result of LQR control is also presented.en_US
dc.description.tableofcontents目 錄 中文摘要 I 英文摘要 II 誌 謝 III 目 錄 IV 圖表目錄 VI 符號說明 XIII 第一章 緒 論 1 1.1研究動機 1 1.2文獻回顧 2 1.3內容大綱 4 第二章 撓性軸承微定位系統數學模式之推導 5 2.1線性致動器的數學模型 5 2.2撓性軸承機構及其假設條件 6 2.3撓性軸承之數學模型 10 2.4使用撓性軸承之微定位系統數學模型 18 第三章 階層式類神經模糊控制和LQR控制設計 21 3.1神經網路模型 22 3.2模糊系統控制 24 3.2.1隸屬函數的決定與解模糊化 26 3.2.2 階層式模糊控制器之反向傳遞學習法則 30 3.3 LQR控制器設計 34 第四章 電腦模擬與結果討論 37 4.1微定位系統參數值之選定 37 4.2階層式模糊控制器參數之選定 42 4.2.1 輸入變數的選取與階層式模糊控制器架構的建立 42 4.2.2 隸屬函數、規則庫的建立及權重矩陣之選取 44 4.3 LQR控制器參數之選定 49 4.4微定位控制系統模擬結果與討論 50 第五章 結論與建議 97 參考文獻 99 附 錄 102zh_TW
dc.language.isoen_USzh_TW
dc.publisher機械工程學系zh_TW
dc.subjectNeuro-Fuzzy Controlen_US
dc.subject模糊控制zh_TW
dc.subjectFuzzy Controlen_US
dc.subjectFlexural Bearingsen_US
dc.subjectMicropositioning Systemsen_US
dc.subject撓性軸承zh_TW
dc.subject階層式模糊控制zh_TW
dc.subject類神經模糊控制zh_TW
dc.subject階層式類神經模糊控制zh_TW
dc.title撓性軸承微定位系統之階層式類神經模糊控制zh_TW
dc.titleHierarchical Neuro-Fuzzy Control for Micropositioning Systems Using Flexural Bearingsen_US
dc.typeThesis and Dissertationzh_TW
item.openairecristypehttp://purl.org/coar/resource_type/c_18cf-
item.openairetypeThesis and Dissertation-
item.cerifentitytypePublications-
item.fulltextno fulltext-
item.languageiso639-1en_US-
item.grantfulltextnone-
Appears in Collections:機械工程學系所
Show simple item record
 
TAIR Related Article

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.