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標題: 微米級高數值孔徑低像差微雙凸透鏡陣列之設計與製作
Design and Farication of High Numerical Aperature and Low Aberration Micro Bi-Convex Lens Array
作者: 陳明風
Chen, Ming-Feng
關鍵字: 數值孔徑;NA;熱熔法;像差;Reflow;aberration
出版社: 機械工程學系所
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摘要: 
微透鏡陣列為應用範圍廣泛之微光學元件,並正逐步推廣與實際應用於諸多商品中,其中高(數值孔徑)NA低像差微透鏡陣列具有縮小聚焦光點、提升入光量、增進成像系統中成像之清晰度及解析度之效能。本研究以簡單的構型設計出與半球透鏡具有相同數值孔徑,且像差優化之微透鏡陣列,文中並設計一簡單且快速之製作流程來完成此微透鏡陣列製作。設計上以極為簡單之雙凸形貌設計令光線能兩段聚焦以其不需提高透鏡高徑比亦能縮短聚焦長度有效提升數值孔徑與減少像差之功效,並且透過光學分析軟體ZEMAX優化分析以得到最佳形冒設計,以聚二甲基矽氧烷(PDMS)為例,其優化之結果為雙凸透鏡最佳形貌 =97.6μm、 =60μm, =79.7μm, =43.45μm。研究進一步將以AZ-4620光阻透過熱熔法來製作此微透鏡陣列結構,經濺鍍銅膜,以塗佈PDMS並再鍍銅模來製作出微模仁,最後再於模仁上塗佈PDMS製作出單面透鏡陣列並將雙面陣列加以接合製作出所設計之微雙凸透鏡陣列。本研究之創意與特殊貢獻在於將雙凸結構光學透鏡微小化且陣列化,並以成本低廉之熱熔法翻模,試製所設計之微米級透鏡陣列成品。
URI: http://hdl.handle.net/11455/1944
其他識別: U0005-2808200715571200
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