Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/2465
標題: 三軸奈米平台之適應控制與相關機電技術實現
Adaptive control and mechatronics implementation for three-axis nanopositioner
作者: 陳慶韓
關鍵字: 奈米平台;RTX;機電系統整合;系統辨識;RLS;壓電致動器功率放大器;電容式位移檢出電路;非極小相系統控制
出版社: 機械工程學系
摘要: 
本論文探討三軸奈米平台相關機電系統、系統辨識、控制設計與軟體實現等技術的發展,使用德國PI公司之壓電撓性機構平台(piezo flexure stage),可消除摩擦力的影響,該平台並內建整合式電容位移感測器,具有奈米解析度。本研究主要包括有:(1)電容式位移感測器之振幅調變與解調電路設計與製作,以量測平台之位移訊號;(2)壓電致動器之功率放大器設計與製作;(3)訊號處理與濾波器設計製作;(4)在軟體方面,使用Visual C++編寫程式,在MS Windows RTX即時作業系統環境下,實現相關的數位訊號處理與控制演算法;(5)控制器的實現乃使用RLS演算法作即時辨識,並以重新定義輸出的方式進行非極小相系統之控制,以改善壓電致動器的磁滯現象,及系統其他的非線性特性。
URI: http://hdl.handle.net/11455/2465
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