Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/2678
標題: 應用梳狀微電極與陣列微電極製程在微透鏡之研究
The application of micro electorde array process to micro lens
作者: 王偉晉
關鍵字: 陣列微電極;微透鏡
出版社: 機械工程學系
摘要: 
微細孔加工的方法有許多種,包括了超音波加工、鑽孔加工、雷射加工、研磨加工、電子束加工及放電加工等,其中放電加工更是具備高加工精度、耗費成本低的優點。線切割放電加工因為線電極係連續抽出的,沒有電極消耗的問題,此外加工部位行走的線位置,可用導具予以固定,排除線電極震盪提高加工精度,故非常適合用來加工微細電極,繼而進行微細孔的放電加工。
單一微電極,若要製作數量較多的微細孔,需要花費相當長的加工時間,故針對需要加工較多數量微細孔的狀況,例如微透鏡模具的製作,可設計出如梳狀微電極與陣列微電極,分別加工出排列成行與陣列的微細孔,如此一來可以大大的縮短加工時間,並達到大量加工微細孔的需求。
本研究以線切割加工機,針對電極引導機構之進行重新設計與架設,並輔助以旋轉主軸、分度機構等,利用機台本身的精度搭配輔助設備,以彌補現有機台功能之不足;可以製作梳狀微電極與陣列微電極,並進行列狀排列與陣列排列之微細孔的放電加工,進而應用微陣列電極進行陣列微細孔於微透鏡熱壓模具之製作,再利用製作好的模具以熱壓印模法製作微透鏡,最後完成100μm X 100μm矩形剖面之陣列微電極,並製作出180μm X 180μm之陣列微透鏡。
URI: http://hdl.handle.net/11455/2678
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