Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/2691
標題: 以類LIGA技術製作立體微透鏡陣列模仁
USING LIGA-LIKE TECHNOLOGY TO FABRICATE A THREE-DIMENSIONAL MICROLENS ARRAY MOLD INSERT
作者: 劉耕儒
關鍵字: 類LIGA;立體微透鏡陣列模仁;微透鏡陣列
出版社: 機械工程學系
摘要: 
本研究探討利用類LIGA製程,藉由立體曝光微影技術製作一立體微透鏡陣列模仁,將傳統平面式的微透鏡陣列製程延伸至三度空間曲面,在非平面(non-planar)基材表面製作微形圓柱狀光阻結構。文中除探討製程技術外,並規劃實驗試作雛形,實驗結果顯示本製程可於直徑76mm的不鏽鋼圓柱基材上成功製作出直徑200μm、150μm、100μm、75μm以及50μm之微透鏡陣列,以確定該技術的可行性,並採用直徑200μm之圖形,進行製作光阻形狀於圓柱基材上,實際進行電鑄製作微透鏡模仁,結果顯示模仁之尺寸複製情況均勻且電鑄之厚度亦如所預期之30μm。本研究之創意與特殊貢獻之處在於採用此曝光微影技術於立體結構基材上,可以將光罩圖形複製到平面製程所無法製作的圓柱狀基材上,以製作各式微形結構,配合精密電鑄可製成所設計之微結構模仁。
URI: http://hdl.handle.net/11455/2691
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