Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/3478
標題: 高感光性負型壓克力系光阻製備及其性質研究
作者: 張復怡
Chang, Fu-Yi
關鍵字: DPC;UV-RTIR;硫醇
出版社: 化學工程學系
摘要: 
液晶顯示器(liquid crystal display)用彩色濾光片(color filter)的負型彩色光阻(color resist),為符合高感光、高透明性及高解析度等須求,其所用的樹脂多以壓克力系的單體與寡聚體為主,以達到光阻低膜厚損失與高解析度的規格。然而,面對未來彩色液晶顯示器普及化而須擴大量產,如何提升品質、降低製作成本,且能兼顧高科技產業的發展?是一項重要的研究課題。
本研究嘗試以壓克力酸共聚化合物型樹脂、高交聯之反應性單體及硫醇,製備含有壓克力酸型共聚化物的高感光性負型光阻,並利用UV-RTIR(UV-light coupling Real Time IR spectroscopy)、DPC(Differential Photocalorimetry)探討其反應性、解析度等性質以評估其應用於製作平面顯示器用彩色濾光片之可行性。
據此,藉由田口品質設計方法以壓克力酸型共聚合物為樹脂,並加入高交聨密度單體DPEPA及配合高吸光係數光起始劑I369與帶有四個官能基硫醇系交聯劑Pentaerythritol tetrakis(3-mercaptoacetate)進行摻合,可獲得曝光能量低於100mJ/cm2之高感光度且低膜厚損失的負型光阻,此由膜厚損失之特性曲線(Wedge Curve)顯示,感度及對比度皆佳;並經由UV-RTIR及DPC分析得知,反應性可由100.55 (%/min)提升至213.88 (%/min),且有厚度及起始劑濃度所引起的遮蔽效應,此與田口實驗結果一致;及由熱重分析顯示,其主要起始裂解溫度(onset)為400~420℃之間。
另外,含有硫醇之高感光性壓克力酸系負型光阻,經由75 mJ/cm2的曝光及鹼液顯影後,可獲得膜厚為1m與線幅為10m的圖案;而加入8% red pigment 177分散液及經由150 mJ/cm2曝光的微影製程後,也可得到相同的解析度,此證明本研究可應用於彩色濾光片用高效率光阻的製備。
URI: http://hdl.handle.net/11455/3478
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