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標題: 微型醫用鎳質霧化器製作技術研究
Fabricating Study of Medical Micro-nebulizer in Nickel
作者: 謝昇融
Sie, Sheng-Rong
關鍵字: electroforming;電鑄;nozzle plate;nebulizer;SMD;噴嘴片;霧化器;霧化粒徑
出版社: 精密工程學系所
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摘要: 
本研究利用電鑄成型法製作出生醫霧化器使用之微噴嘴片,噴嘴孔徑可達5μm。霧化器的關鍵零件之一便是噴嘴片,噴嘴片孔徑的尺寸越小,霧化粒徑就能越小,而在醫療保健中,其所產生的藥物粒徑需在5μm以下,才能直接由人體吸收。本研究利用雙層光阻疊加方式定義微結構形狀與尺寸,製作出上下直徑不同的圓柱結構,上層光阻用途為阻擋電鑄金屬縮孔的成長,控制噴嘴的孔徑,製作出孔洞均一的微噴嘴片。

This research use electroforming process to fabricate nozzle plate in order to produce medical micro-nebulizer, the nozzle diameter can be reached 5μm.One of the key part of nebulizer is nozzle plate. As the size of nozzle diameter becomes smaller, the sauter mean diameters (SMD) can be samller. In medicine, the nebulized medication particles need to be less than 5μm in diameter in order to achieve sufficient therapeutic effects. This research use spinning double photoresist layers to fabricate microstructure, that upper and bottom cylinder structure different in diameter. The upper photoresist layer can control nozzle diameter and let nozzles uniform.
URI: http://hdl.handle.net/11455/4222
其他識別: U0005-1708200911550400
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