Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/4222
DC FieldValueLanguage
dc.contributor吳貞欽zh_TW
dc.contributor林哲平zh_TW
dc.contributor.advisor楊錫杭zh_TW
dc.contributor.author謝昇融zh_TW
dc.contributor.authorSie, Sheng-Rongen_US
dc.contributor.other中興大學zh_TW
dc.date2010zh_TW
dc.date.accessioned2014-06-06T06:27:18Z-
dc.date.available2014-06-06T06:27:18Z-
dc.identifierU0005-1708200911550400zh_TW
dc.identifier.citation[1] W. Ehrfeld, P. Baley, F. Gotz, J. Mohr, D. Munchmeyer and W. Schelb,“Process in deep-etch synchrotron radiation lithography,” Journal of Vacuum Science Technology, vol.6, no. 1,pp. 178-182, 1988. [2] 莊達仁, VLSI製造技術,高立出版社,2000。 [3] R. Williams, S. Richard and Muller, “Etch Rate for Micromachining Processing,” Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 5, no. 4, pp. 256-269, 1996. [4] L. Bernd, “Thick layer resists for surface micromachining, ” Micromech Microeng, vol. 10, pp. 108-115, 2000. [5] 韋乾佑, 以微電鑄法製造高填充率之微透鏡陣列模仁研究, 國立臺灣科技大學機械工程學系碩士論文, 2005。 [6] 沈聖智、王郁仁、程榮勝、鄧吉雄、葉建賢、李聰瑞、蔡明杰, 微機電式霧化器之研發與應用, 機械工業雜誌, 46-49, September, 2006。 [7] 沈聖智、王郁仁、吳泰鋒、陳易呈、李聰瑞, 微機電技術應用於吸入式霧化器之研發, 機械工業雜誌, 77-88, August, 2005。 [8] S.C. Shen, “Design and fabrication of medical micro-nebulizer,” Sensors and Actuators, vol. 144, pp.135-143,2008. [9] S. C. Chen, “Fabrication of components for a valve-less micropump or microejector by multilevel electroforming technology,” Microsyst Technol, vol.13,pp.455-463, 2007. [10] L.Wang, “High-aspect-ratio silica nozzle fabrication for nano-emitter electrospray applications, ”Microelectronic Engineering, vol.84, pp.1190-1193, 2007. [11] 陳映全, 陶瓷粉末射出成型微噴嘴陣列薄片之研究, 國立雲林科技大學機械工程學系碩士論文, 2005。 [12] Y.R. Jeng, C.C.Su, G.H.Feng, Y.Y.Peng, “An investigation into a piezoelectrically actuated nebulizer with μEDM-made micronozzle array,” Experimental Thermal and Fluid Science, vol. 31,pp.1147-1156,2007. [13] 吳憲明, 精密電鑄技術市場應用, 台大慶齡工業中心, 1997。 [14] 張瑞宗, 以厚膜光阻技術設備高縱橫比銅導柱之研究, 國立交通大學材料科學研究所碩士論文, 1999。 [15] 吳祥銘, 鎳鈷合金微電鑄技術於微模具成型之研究, 國立中興大學精密工程研究所碩士論文, 2003。 [16] 吳周霖, 表面濺鍍銅之矽晶元其電鑄銅之表面形態研究, 國立中央大學機械工程研究所碩士論文, 2000。 [17] 蘇癸陽、張良謙,實用電鍍理論與實際,復文書局,1994。 [18] 洪耿鉉, 微機電霧化器噴孔片之研究, 元智大學光電工程研究所碩士論文,2000。 [19] 郭明蒼, 低電壓之壓電驅動膜片可變焦液態透鏡結合UV凸透鏡之研究,國立中興大學精密工程所碩士論文, 2008。 [20] 施敏,半導體元件物理與製作技術,國立交通大學出版社,2006。 [21] Hong Xiao,半導體製程技術導論,台灣培生教育出版社,2007。 [22] 軒亨企業股份有限公司,氨基磺酸鎳操作手冊。 [23] 楊啟榮、強玲英、郭文凱、林郁欣、林暉雄、張哲瑋、趙俊傑, 微系統類LIGA製程光刻技術, 科儀新知, 33-45, February, 2001。zh_TW
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11455/4222-
dc.description.abstract本研究利用電鑄成型法製作出生醫霧化器使用之微噴嘴片,噴嘴孔徑可達5μm。霧化器的關鍵零件之一便是噴嘴片,噴嘴片孔徑的尺寸越小,霧化粒徑就能越小,而在醫療保健中,其所產生的藥物粒徑需在5μm以下,才能直接由人體吸收。本研究利用雙層光阻疊加方式定義微結構形狀與尺寸,製作出上下直徑不同的圓柱結構,上層光阻用途為阻擋電鑄金屬縮孔的成長,控制噴嘴的孔徑,製作出孔洞均一的微噴嘴片。zh_TW
dc.description.abstractThis research use electroforming process to fabricate nozzle plate in order to produce medical micro-nebulizer, the nozzle diameter can be reached 5μm.One of the key part of nebulizer is nozzle plate. As the size of nozzle diameter becomes smaller, the sauter mean diameters (SMD) can be samller. In medicine, the nebulized medication particles need to be less than 5μm in diameter in order to achieve sufficient therapeutic effects. This research use spinning double photoresist layers to fabricate microstructure, that upper and bottom cylinder structure different in diameter. The upper photoresist layer can control nozzle diameter and let nozzles uniform.en_US
dc.description.tableofcontents誌謝 i 摘要 ii ABSTRACT iii 目錄 iv 圖目錄 vi 表目錄 viii 第一章 緒論 1 1.1 前言 1 1.2 LIGA製程技術簡介 2 1.2.1 LIGA 製程 2 1.2.2 LIGA-Like製程 3 1.2.3 Quasi-LIGA-Like 製程 4 1.3 研究背景 4 1.4 研究動機與目的 4 1.5 文獻回顧 5 1.6 論文架構 9 第二章 微電鑄技術基本理論 10 2.1 引言 10 2.2 電鍍技術與電鑄技術 11 2.2.1 成長速率計算 14 2.2.2 鍍浴中的質傳方式 15 2.2.3 電荷轉移 16 2.2.4 潤濕作用 16 2.3電鑄縮孔基本原理 17 2.4 影響電鑄的因素 22 第三章 實驗方法與製程規畫 25 3.1實驗流程 25 3.2 噴嘴片製作流程 25 3.3 實驗步驟 28 3.3.1 製程前處理 28 3.3.2 微影製程 30 3.3.3 電鑄製程 33 3.4 實驗設備簡介 34 3.4.1 加工設備 34 3.4.2 檢驗設備 38 第四章 實驗結果與討論 42 4.1 電鑄縮孔法 42 4.1.1光阻結構製作 42 4.1.2電鑄層製作 47 4.2 雙層光阻疊加法 52 4.2.1 光阻結構製作 53 4.2.2 電鑄層製作 57 4.3 孔徑量測比較 58 第五章 結論與未來展望 61 5.1 結論 61 5.2 未來展望 61 参考文獻 62 附錄Ι 噴嘴片孔徑量測 64zh_TW
dc.language.isoen_USzh_TW
dc.publisher精密工程學系所zh_TW
dc.relation.urihttp://www.airitilibrary.com/Publication/alDetailedMesh1?DocID=U0005-1708200911550400en_US
dc.subjectelectroformingen_US
dc.subject電鑄zh_TW
dc.subjectnozzle plateen_US
dc.subjectnebulizeren_US
dc.subjectSMDen_US
dc.subject噴嘴片zh_TW
dc.subject霧化器zh_TW
dc.subject霧化粒徑zh_TW
dc.title微型醫用鎳質霧化器製作技術研究zh_TW
dc.titleFabricating Study of Medical Micro-nebulizer in Nickelen_US
dc.typeThesis and Dissertationzh_TW
item.openairecristypehttp://purl.org/coar/resource_type/c_18cf-
item.openairetypeThesis and Dissertation-
item.cerifentitytypePublications-
item.fulltextno fulltext-
item.languageiso639-1en_US-
item.grantfulltextnone-
Appears in Collections:精密工程研究所
Show simple item record
 
TAIR Related Article

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.