Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/47710
標題: 圖案化之陽極氧化鋁膜板製作及其在直立式奈米碳管陣列之製備應用(I)
Patterned Anode-Aluminum-Oxide Technique and Its Applicaton on Fabrication of Vertical Carbon Nanotube Array(I)
作者: 王國禎
李明威
關鍵字: 自動化工程, 材料科技;技術發展
摘要: 
本計畫乃是以陽極氧化鋁膜板圖案化製作技術為基礎,開發圖案化且直立式之奈米碳管陣列製備技術,進而發展奈米碳管平面顯示技術之研究計畫。在本研究第一年中,我們規劃先由電力線密度以及阻障層的覆蓋範圍二方向著手,發展可程式化之陽極氧化鋁膜板圖案化製作技術。在電力線密度控制方面,擬以ANSYS軟體模擬分析不同電壓施加點對陽極氧化鋁膜孔洞分佈的影響,再利用分析結果設計製作可由電腦控制電壓施加點之電極陣列,接著以實驗驗證模擬結果並修正電極架構,完成可程式化之陽極氧化鋁膜板圖案化製作技術。在阻障層覆蓋範圍控制方面,則是以以雙層鋁片為電極,藉由控制純鋁試片表面的構造與製程參數,以控制阻障層之覆蓋範圍來製作圖案化之奈米孔洞陣列。本研究第二年規劃以第一年所發展之圖案化AAO 模版為基版,以CVD 技術生長圖案化且直立之CNT 陣列,再以此技術製備單根直立式CNT,並針對不同管徑與長度之單根直立式CNT 量測其電性與場發射效應等物理特性。本研究之第三年擬以前二年建立圖案化且直立之CNT 陣列製備與特性量測技術為基礎,規劃與台中工業區之久正光電合作,製作單色之CNT 場發射平面顯示器,所需設備與周邊零組件亦將由久正光電協助提供。
URI: http://hdl.handle.net/11455/47710
其他識別: NSC94-2212-E005-010
Appears in Collections:機械工程學系所

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