Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/47746
標題: 結合無線射頻傳輸電路的FET微壓力感測器晶片之製作
Fabriaction of FET Micro Pressure Sensors Integrated with RFID Circuits on a Chip
作者: 戴慶良
關鍵字: 電子電機工程類, 電信工程;基礎研究
摘要: 
本計畫擬以CMOS (complementary metal oxide semiconductor)-MEMS(microelectromechanical systems)技術製作含無線射頻傳輸電路的整合型FET (field effect transistor)微壓力感測器晶片。此FET 微壓力感測器將具有下列優點:晶片面積小、靈敏度高、響應快、製程處理容易、和信號無線傳輸的功能。適合應用於汽車的無線胎壓計和醫療照護的無線監控系統。在無線射頻傳輸電路中,需要有高品質因值(quality factor)的電容和電感,才能實現良好的無線射頻傳輸功能,因此本計畫將以CMOS-MEMS 技術製作高品質因值的微電感和電容,並應用完成高性能的無線射頻傳輸電路。後製程處理對CMOS-MEME 技術是很重要的一環,它關係著所設計的微元件是否可被成功實現。因此,本研究將建立一種表面濕蝕刻微加工的後製程處理,用以釋放微壓力感測器的懸浮薄膜,和無線射頻傳輸電路所需之懸浮微電感。本計畫擬以二年時間完含無線射頻傳輸電路的整合型FET 微壓力感測器晶片:第一年目標是完成新型表面濕蝕刻微加工的後製程處理之研發,以及設計和製作FET 微壓力感測器;第二年目標是完成無線射頻傳輸電路之設計,並將無線射頻傳電路與FET 微壓力感測器整合製作在同一塊晶片上。
URI: http://hdl.handle.net/11455/47746
其他識別: NSC96-2221-E005-081
Appears in Collections:機械工程學系所

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