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標題: 低濃度含氟廢水處理系統改善-以某半導體廠為例
Improvement for Treatment of Low Concentration Hydrofluoric Wastewater-Semiconductor Company as an Example
作者: 曹桂彰
Tsao, Kuei-Chang
關鍵字: Ion Exchange;離子交換;Semiconductor;Reverse Osmosis Recovery;Hydrofluoric Wastewater;半導體;逆滲透回收;含氟廢水
出版社: 環境工程學系所
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摘要: 
由於半導體晶圓製程程序十分複雜,半導體產品製程需使用大量含氟之化學品及氣體,因此製程排出之廢水種類及造成污染之化學物質相當多且繁雜,依照廢水成分特性大致上可以區分為酸、鹼廢水及含氟廢水,依據中華民國96年9月3日行政院環保署所公告之[放流水標準]中氟化物(不包括複合離子)的排放標準15.0mg/L,故半導體廠為符合廢水須處理至小於15.0 mg/L之標準,開始採用以離子交換系統加逆滲透 (RO) 做為回收去除含氟廢水的方法。
本研究以某半導體8吋晶圓製造公司竹科廠區為研究案例。乃採用德國拜耳公司授權使用其專利之離子交換樹脂技術法,針對低濃度的含氟廢水(<200 ppm)所增設的LHF-R系統(Low HF Reclaim System),以超純水系統之2B2T 型陰陽離子交換處理系統加上RO逆滲透處理系統作為研究對象,進而探討製程回收率為何無法維持在85%以上,後經修改與建構ROR系統(Reverse Osmosis Recovery)改善運轉後,製程回收率可穩定達成>85%。以目前ROR之透過水平均量(265 CMD)及LHF-R系統運轉率提昇之水量(150 CMD)關係計算,約可節省 4,512元 / Day,進一步效果確認污水處理費用可節省1,624,320 元 / 年。

The process of semiconducting wafer is very complex so those products need to consume a lot of chemicals and process gas. Effluent waste water of the process and pollutant chemical are very complicated and plenty. According to categorization of waster component, it is a variety of acidic, base, and waste water of the contained fluoride. Then, in order to pass Sept, 3 2007 Environmental Protection Administration Executive Yuan of ROC (effluent standards, fluoride not including complex ions), the effluent limits is 15mg/L for semiconducting manufacture. It is starting to use plus reverse osmosis (RO) of ion exchange system in order to recycle and eliminate wastewater of contained fluorides.
In this study, we take an example that is 8 inches wafer of the semiconducting manufacture. Germany Bayer Company authorized the instrument system of ions exchange resin technique to this company. This LHF-R instrument (Low HF Reclaim System, plus 2B2T anionic-cationic exchange process/RO of the super pure water system) is aimed and eliminated to contained fluorides wastewater of low concentration (<200 ppm) for this study, further researching the process recycle ratio how to not be maintained up 85%. After retrofitting and constructing Reverse Osmosis Recovery (ROR) System, we study this process recycle ratio that is stable to reach >85%. So far we can estimate water average quantity (265 CMD) of ROR system and increasing work ratio of LHF-R system (150CMD) to counter difference between them (saving 4,512 NTD/day). Further confirming cost of wastewater, the process can save 1,624,620 NTD per year。
URI: http://hdl.handle.net/11455/4978
其他識別: U0005-0807201122001400
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