Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/5572
標題: 生物濾床法應用於半導體實場操作之研究
作者: 許世杰
關鍵字: 生物濾床;異丙醇;半導體
出版社: 環境工程學系
摘要: 
本研究目的在於探討生物濾床法應用於實場之研究,研究中於一半導體實場進行模擬試驗,用以驗證生物濾床法處理半導體產業揮發性有機廢氣之適用性,包括影響去除率之操作因子及經濟效益分析。同時,因為研究中之半導體實場使用生物濾床法作為該廠揮發性有機廢氣之防治設備,且其長期操作效率約在30∼40 %之間。因此,為了提升其處理效率,本研究亦對實場濾床提出適合之改善方案。
研究中於半導體實廠設置三組試驗生物濾床處理其排放之揮發性有機廢氣。該廠主要排放之揮發性有機廢氣為異丙醇(約佔85 %)及二甲苯(約佔5∼10 %)等。實場濾床尺寸為12mx3.2mx3.2m,濾料填充厚度1.3m,使用馬糞與寶麗龍球所混合之商業化堆肥濾料,廢氣進入濾床前以增濕器增加廢氣溼度。
本研究對三組試驗濾床分別填充木炭球(添加營養源)及實場所用之濾料(分添加營養源與不加營養源)作模廠測試。在三組濾床實驗中發現,使用實場堆肥濾料的試驗濾床在空床停留時間20s以上的條件下,其總碳氫化合物穩定去除率皆可達到95 %以上。顯示實場生物濾床堆肥濾料並非不適用,影響去除率不佳的原因,可能為濾料內的微生物缺乏較佳的生長環境(生物因子),及濾料分佈不均勻(物理因子),造成實場生物濾床處理揮發性有機廢氣效率不彰。比較添加營養鹽與否,未加營養源生物濾床的去除率較差且在排放廢氣濃度負荷較高時去除率有下降的趨勢。填充木炭球的試驗濾床因為採現場污泥植種方式,因此,相較於其他兩組採用實場堆肥濾料的試驗濾床,其初期啟動速度較慢,約需2個月的時間(歷經停留時間90s及60s),其生物膜達到穩定,去除率可達95 %以上。
本研究中亦對生物濾床及活性碳吸附法作經濟及效益評估,結果顯示出生物濾床法初置成本較高,但透過年平均法(Annual worth method)的計算,活性碳吸附法為424.4萬元/年,而生物濾床法只需229.4萬元/年,顯示生物濾床法較活性碳吸附法經濟許多。
URI: http://hdl.handle.net/11455/5572
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