Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56120
標題: 具有金屬散熱柱之雷射二極體及其製造方法
作者: 洪瑞華
武東星
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 
本發明提出一種具有金屬散熱柱之雷射二極體,其磊晶層由下而上依序包括第一型批覆層、發光層及第二型批覆層,二布拉格反射鏡分別形成於二批覆層之上下表面中央或其他適當位置。保留下批覆層底部的部份磊晶用基板,而將其餘部份去除以鍍設一布拉格反射鏡,使金屬散熱柱電鍍於該布拉格反射鏡的底部。藉由保留磊晶用基板及電鍍金屬散熱柱,可使雷射二極體結構更加穩定並提升散熱效果。此外,本發明製程中,高溫退火程序係於鏡面及電鍍程序前完成,因此不會對結構造成破壞,可有效提高鏡面反射率及增加雷射二極體的製程良率。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56120
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