光電元件之磊晶基板的分離方法

Abstract

本發明提供光電元件之磊晶基板的分離方法,先於磊晶基材上形成具有多數間隔之膜體結構的犧牲膜後側向磊晶形成磊晶層,接著在磊晶層上形成將磊晶層定義出多數具有頂面之磊晶膜的遮罩層,再利用遮罩層的分隔自每一頂面向上形成與磊晶膜電連接的導電基塊,然後移除遮罩層並繼續移除對應於遮罩層的磊晶層層體結構,再濕蝕刻移除犧牲膜以及磊晶膜與磊晶基材連接處,即可讓磊晶層與磊晶基材分離得到多數具有粗糙面的光電元件半成品,最後於每一光電元件半成品上設置電極,即製得多數光電元件。