Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56282
標題: 製備氮化鋁鈦膜之方法
作者: 呂福興
范慧屏
詹慕萱
出版社: 材料科學與工程學系
摘要: 
一種製備氮化鋁鈦膜之方法,係於一密閉腔體內置入一基材作為陽極,以及一鋁鈦合金靶材作為陰極,以空氣作為反應氣體,將空氣與氬氣依流量比5:100-50:100通入密閉腔體中,並控制密閉腔體之工作壓力於6.65�10-2Pa~6.65Pa,利用物理氣相沈積法即可在基材表面形成一氮化鋁鈦膜,由於空氣之取得極為方便,且背景真空度之要求較習知方法為低,使本發明所提供之方法具有設備簡單、製程快速、成本低廉等優點。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56282
Appears in Collections:材料科學與工程學系

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