整合積體電路的FET微壓力感測器

Abstract

本發明在於提供一種整合積體電路的FET微壓力感測器，主要以CMOS製程製成一晶片體並成型於一矽基板上，其包含有一壓力感測結構及一感測電路係整合在一塊晶片體上，該壓力感測結構，係於該晶片體表面形成一壓力感測區，該壓力感測區中佈設陣列有預定數目之壓力單元，並與該感測電路間具有電性連接，藉以將該壓力感測結構之電流訊號經放大後轉換為電壓訊號輸出，藉以達到整體體積小，且利用電壓控制電阻的優點，藉以調節閘極電壓改變通道電阻，使得感測器通道電阻具有可調性，以控制壓力感測器之靈敏度者。