Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56822
標題: 薄膜承載片及薄膜性質量測系統
作者: 林明澤
童麒嘉
摘要: 
一種薄膜承載片,包含一框架,及一感測件。該框架包括一環繞一第一軸線之內周面。該感測件包括一懸臂段,及一被驅動段,該懸臂段是由該內周面沿一與該第一軸線相交之第二軸線的方向延伸,並具有二分別位於該第二軸線兩側之側緣,該等側緣之延長線是相交於該第一軸線。該被驅動段是由該懸臂段沿該第二軸線方向延伸,並具有沿該第一軸線相背設置之一被驅動面及一基準面,且該被驅動面之形心是位於該第一軸線上。如此,當一通過該形心之作用力作用於該被驅動段而使該懸臂段彎曲時,該懸臂段所受之應力為均勻分佈。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56822
Appears in Collections:精密工程研究所

Files in This Item:
File SizeFormat Existing users please Login
4-4-3-3-3.pdf348.58 kBAdobe PDFThis file is only available in the university internal network   
Show full item record
 

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.