Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56830
標題: 高數值孔徑微透鏡與其陣列之製法
作者: 楊錫杭
俆姍姍
摘要: 
本發明一種高數值孔徑微透鏡與其陣列之製法,主要是利用光穿透微透鏡後之散射效果,形成高數值孔徑透鏡之製法,在製程中,先以光阻熱熔(Reflow of Photoresist)法做出所需之微透鏡玻璃光罩結構,再以超過光阻之玻璃轉換溫度之高溫加熱,使得光阻表面能量趨近於最小,而形成近似球面的形狀,再以玻璃光罩形狀轉移之原理,在一基材上塗佈較厚的光阻層,即可得到高NA微透鏡陣列結構,其製程穩定且製作簡單,並可大量翻模複製,以大大降低製作成本。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56830
Appears in Collections:精密工程研究所

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