Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56830
標題: 高數值孔徑微透鏡與其陣列之製法
作者: 楊錫杭
俆姍姍
摘要: 
本發明一種高數值孔徑微透鏡與其陣列之製法,主要是利用光穿透微透鏡後之散射效果,形成高數值孔徑透鏡之製法,在製程中,先以光阻熱熔(Reflow of Photoresist)法做出所需之微透鏡玻璃光罩結構,再以超過光阻之玻璃轉換溫度之高溫加熱,使得光阻表面能量趨近於最小,而形成近似球面的形狀,再以玻璃光罩形狀轉移之原理,在一基材上塗佈較厚的光阻層,即可得到高NA微透鏡陣列結構,其製程穩定且製作簡單,並可大量翻模複製,以大大降低製作成本。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56830
Appears in Collections:精密工程研究所

Files in This Item:
File SizeFormat Existing users please Login
4-4-3-4-3.pdf493.42 kBAdobe PDFThis file is only available in the university internal network   
Show full item record
 
TAIR Related Article

Google ScholarTM

Check


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.