Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56869
標題: 以離心力控制表面曲率之立體微透鏡陣列之製法
MANUFACTURING METHOD OF A 3-D MICRO LENS ARRAY WITH PREDETERMINED SURFACE CURVATURE CONTROLLED BY CENTRIFUGAL FORCE SURFACE
作者: HAN, PIN
韓斌
YANG, HSIHARNG
WU, MENG YU
TSOU, MING CHI
楊錫杭
吳孟瑜
鄒明智
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明係有關一種以離心力控制表面曲率之立體微透鏡陣列之製法,其包括:一.預備步驟、二.微影成形步驟、三.離心力成形步驟、四.成品步驟。本發明藉由控制離心力大小,可任意改變微透鏡之不同曲率半徑與焦距,達到聚焦與感光之功用,並以類深刻電鑄模造製程配合立體曝光微影技術,將傳統平面製程延伸至三度空間曲面,於非平面基材表面製作立體式微透鏡部,其兼具配合離心力於曲面上製作立體式微透鏡部、可製作大面積之立體式微透鏡部、可製作立體式微凸/微凹透鏡部、製程穩定,以及生產設備成本低等優點。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56869
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