Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56873
標題: 楔形微結構陣列之製造方法
METHOD OF MICRO-STRUCTURAL WEDGED ARRAY
作者: 楊錫杭
YANG, HSIHARNG
韓斌
吳孟瑜
易威廷
HAN, PIN
WU, MENG YU
YI, WEI TING
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明係有關一種楔形微結構陣列之製造方法,其包括一‧預備步驟、二‧微影成形步驟、三‧真空吸取成形步驟、四‧微結構成形步驟。本發明以類似X光深刻精密電鑄模造成形技術與紫外光固化膠成形微結構。利用微影製程在光阻上成形模穴陣列,在真空腔體內使紫外光固化膠均勻填入模穴陣列,將基板連同光阻傾斜,使紫外光固化膠在模穴陣列內傾斜後曝光固化,再以具光學性質之聚二甲基矽氧烷或紫外光固化膠翻模,進而大量射出製造,兼具可製出不同斜度與尺寸的楔形微結構陣列、製程穩定、生產設備成本低及可提高導光板的正面輝度等特性。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56873
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