楔形微結構陣列之製造方法

Abstract

本發明係有關一種楔形微結構陣列之製造方法，其包括一‧預備步驟、二‧微影成形步驟、三‧真空吸取成形步驟、四‧微結構成形步驟。本發明以類似X光深刻精密電鑄模造成形技術與紫外光固化膠成形微結構。利用微影製程在光阻上成形模穴陣列，在真空腔體內使紫外光固化膠均勻填入模穴陣列，將基板連同光阻傾斜，使紫外光固化膠在模穴陣列內傾斜後曝光固化，再以具光學性質之聚二甲基矽氧烷或紫外光固化膠翻模，進而大量射出製造，兼具可製出不同斜度與尺寸的楔形微結構陣列、製程穩定、生產設備成本低及可提高導光板的正面輝度等特性。