Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56874
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dc.contributor惲軼群zh_TW
dc.contributor陳文郎zh_TW
dc.contributor.author洪瑞華zh_TW
dc.contributor.author張昭智zh_TW
dc.contributor.author蔡圳益zh_TW
dc.contributor.author胡辜昱zh_TW
dc.contributor.author蔣宇寧zh_TW
dc.date2007-04zh_TW
dc.date.accessioned2014-06-06T09:06:56Z-
dc.date.available2014-06-06T09:06:56Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11455/56874-
dc.description.abstract本發明主要是提供一種電容式微型麥克風之麥克風晶片及其製造方法,是先在基板上依序定義形成脫離層、第一電極層、振膜層與犧牲層後,利用蒸鍍、電鍍方式繼續定義出第二電極層及強固層,再利用第二電極層與強固層對應形成之音孔圖像將犧牲層蝕刻掏空形成出氣室後即製成麥克風晶片,最後,應用脫離技術蝕刻移除脫離層使得麥克風晶片與基板脫離而取得麥克風晶片,同時亦可將基板回收再利用,由於本方法採電鍍技術,以及無須進行切割製程即可製得麥克風晶片,因此可以提高麥克風晶片整體製程的良率。zh_TW
dc.language.isozh_TWzh_TW
dc.publisher精密工程研究所zh_TW
dc.relation.urihttp://twpat.tipo.gov.tw/tipotwoc/tipotwkmen_US
dc.title電容式微型麥克風之麥克風晶片及其製造方法zh_TW
dc.typePatentzh_TW
item.fulltextno fulltext-
item.languageiso639-1zh_TW-
item.openairetypePatent-
item.cerifentitytypePublications-
item.openairecristypehttp://purl.org/coar/resource_type/c_18cf-
item.grantfulltextnone-
Appears in Collections:精密工程研究所
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