Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11455/56879
標題: 微環狀結構製法
作者: 楊錫杭
YANG, HSI HARING
徐姍姍
HSU, SHAN SHAN
出版社: 精密工程研究所
摘要: 
本發明一種微環狀結構製法,係先以一光阻熱熔(Reflow of Photoresist)法製作所需微透鏡光罩,再以超過光阻之玻璃轉換溫度之高溫加熱,使光阻材料內分子動能增加,並受到表面張力作用,使得光阻表面能量趨近於最小,進而形成近似球面的形狀,而形成特殊之微透鏡光罩,並以此微透鏡光罩對正光阻作微影,即可藉由光穿透微透鏡後產生之散射效果,形成所需之微環狀結構,最後,以電鑄法製作模具,使該微環狀結構可供日後大量生產複製者。
URI: http://hdl.handle.net/11455/56879
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